"Інститут надтвердих матеріалів" Обладнання центру
Головна
Ювілеї
Про нас
Новини
Історія
Наука
Захист дисертацій
Видання
Результати
Вакансії
+ Відділи : Відділ №1
Відділ №3
Відділ №4
Відділ №6
Відділ №7
Відділ №9
Відділ №11
Відділ №13
Відділ №14
Відділ №18
Відділ №20
Відділ №22
Рада молодих вчених
Науково-організаційний відділ /a>
Керівництво Інституту
АЛКОН
Виробництво
Інвестиції
Міжвідомча рада
Информація по закупівлях на 2016 рік
e-mail
Пошукова система по науковим документам ІНМ
НАДТВЕРДІ МАТЕРІАЛИ
Бібліотека
Інформація про заходи ІНМ, що заплановані на 2017 рік
XIX Міжнародна конференція ПОРОДОРУЙНУЮЧИЙ І МЕТАЛООБРОБНИЙ ІНСТРУМЕНТ - ТЕХНІКА, ТЕХНОЛОГІЯ ЙОГО ВИГОТОВЛЕННЯ І ЗАСТОСУВАННЯ
Обладнання центру
Положення
Контакти
Порядок оформлення заявок

Центр колективного користування науковими приладами

Центр колективного користування науковими приладами (ЦККП) „Скануюча електронна мікроскопія і мікроаналіз (СЕММА) ” /англ. абр. СЕММА - Center of Microscopy & MicroAnalysis/ створено на базі Інституту надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України з метою найбільш раціонального використання унікального та коштовного сучасного скануючого електронного мікроскопа ZEISS EVO 50XVP виробництва фірми ZEISS, укомплектованого енергодисперсійним аналізатором рентгенівських спектрів INCA450 з детектором INCAPentаFETx3 та системою HKL CHANNEL-5 для дифракції відбитих електронів виробництва фірми OXFORD.

ОБЛАДНАННЯ ЦЕНТРУ

Основні технічні характеристики растрового електронного мікроскопу

ZEISS EVO 50XVP 
Просторова роздільна здатність при 30 кВ: катод LaB6    2 нм;
  катод W      3 нм;
Прискорююча напруга діапазон: 0.2 – 30 кВ;
Струм зонду діапазон: 1 рА – 3 mА;
Стабільність електронного пучка краща0.2 %/ч.

Збільшення від 5 до 1 000 000х, неперервно змінюється у режимах грубого та точного регулювання

Калібровка: відображає збільшення, точно скореговане для внесення змін на документуючому пристрої

Камера зразків:
розміри: внутрішній діаметр 220 мм, висота 120 мм.

Аналітична робоча відстань від 5 до 20 мм. Оптимальна - 14,5 мм.

Предметний столик для зразків:
5-осний, евцентричний; контролюється програмно з графічного інтерфейсу GUI SmartSEMTM, керується при допомозі блоку з подвійним джойстиком.

Діапазон переміщень: X = 125 мм; Y = 125 мм; Z = 50 мм; Т = 0 – 90 0 ; R= 3600, неперервно.

Детектори у камері:

а) SE-детектор вторинних електронів Еверхарта-Торнлі

б) Відеокамера з ІЧ-освітленням

в) Високочутливий 4-квадрантний фазовий СZ BSD-детектор

г) Детектор вторинних електронів для роботи при низькому вакуумі та отримання топограм катодолюмінесценції.

Аналітичні пристрої:

- Енергодисперсійний аналізатор рентгенівских спектрів INCA 450 (Oxford). Кількісне визначення елементів у пробі від бору до урану з- чутливістю до 0,1%

- Детектор пружно відбитих електронів HKL Channel 5 (Oxford) для отримання дифракційної картини з області більшої 100 нм при визначенні міжплощинних віддалей та дослідженні пружно-деформованого стану гратки нанокристалів.

Вакуумна система: повністю автоматизована з автоматичним керуванням клапаном колони

Форвакуумний насос: Попередній безмасляний насос з продуктивністю 10 м3/ч для ультрачистого вакууму без забруднень.

Турбомолекулярний насос: 250 л/с.

Іонно-гетерний насос: для підтримки високого вакууму у області LaB6-катоду

Прилад використовується для роботи як при високому, так і при низькому вакуумі до 275 Па.

Вимоги до підготовки зразків

При завантаженні у камеру одночасно кількох проб, необхідно відбирати зразки однакової висоти. При виконанні кількісного рентгеноспектрального аналізу шорсткість поверхні не повинна перевищувати 1 мкм (шліф металографічної якості без додаткового травлення поверхні). Для дослідження пружно-деформованого стану гратки масивних монокристалів та нанокристалів у твердотільній матриці поверхня зразка полірується, поверхневий порушений шар знімається хімічним способом, електрополіровкою чи іонним травленням.

 

На головну

Інформація про заходи ІНМ, що заплановані на 2017 рік


Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України Україна, 04074, Київ, вул.Автозаводська, 2;
Тел.: (+38 044) 468-86-40 Факс: 468-86-25 www.ism.kiev.ua Е-mail: alcon@ism.kiev.ua