"Інститут надтвердих матеріалів" Обладнання центру
Головна
Ювілеї
Про Нас
Новини
Історія
Наука
Захист дисертацій
Видання
Результати
Вакансії
+ Відділи : Відділ №1
Відділ №3
Відділ №4
Відділ №6
Відділ №7
Відділ №9
Відділ №11
Відділ №13
Відділ №14
Відділ №18
Відділ №20
Відділ №22
Рада молодих вчених
Науково-організаційний відділ
Керівництво Інституту
АЛКОН
Виробництво
Інвестиції
Міжвідомча рада
Інформація по закупівлях на 2016 рік
e-mail
"СВЕРХТВЁРДЫЕ МАТЕРИАЛЫ"
Бібліотека
XX Міжнародна конференція
Обладнання центру
Положення
Контакти
Порядок оформлення заявок

Центр колективного користування науковими приладами

Центр колективного користування науковими приладами (ЦККП) „Скануюча електронна мікроскопія і мікроаналіз (СЕММА) ” /англ. абр. СЕММА - Center of Microscopy & MicroAnalysis/ створено на базі Інституту надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України з метою найбільш раціонального використання унікального та коштовного сучасного скануючого електронного мікроскопа ZEISS EVO 50XVP виробництва фірми ZEISS, укомплектованого енергодисперсійним аналізатором рентгенівських спектрів INCA450 з детектором INCAPentаFETx3 та системою HKL CHANNEL-5 для дифракції відбитих електронів виробництва фірми OXFORD.

ОБЛАДНАННЯ ЦЕНТРУ

Основні технічні характеристики растрового електронного мікроскопу

ZEISS EVO 50XVP 
Просторова роздільна здатність при 30 кВ: катод LaB6    2 нм;
  катод W      3 нм;
Прискорююча напруга діапазон: 0.2 – 30 кВ;
Струм зонду діапазон: 1 рА – 3 mА;
Стабільність електронного пучка краща0.2 %/ч.

Збільшення від 5 до 1 000 000х, неперервно змінюється у режимах грубого та точного регулювання

Калібровка: відображає збільшення, точно скореговане для внесення змін на документуючому пристрої

Камера зразків:
розміри: внутрішній діаметр 220 мм, висота 120 мм.

Аналітична робоча відстань від 5 до 20 мм. Оптимальна - 14,5 мм.

Предметний столик для зразків:
5-осний, евцентричний; контролюється програмно з графічного інтерфейсу GUI SmartSEMTM, керується при допомозі блоку з подвійним джойстиком.

Діапазон переміщень: X = 125 мм; Y = 125 мм; Z = 50 мм; Т = 0 – 90 0 ; R= 3600, неперервно.

Детектори у камері:

а) SE-детектор вторинних електронів Еверхарта-Торнлі

б) Відеокамера з ІЧ-освітленням

в) Високочутливий 4-квадрантний фазовий СZ BSD-детектор

г) Детектор вторинних електронів для роботи при низькому вакуумі та отримання топограм катодолюмінесценції.

Аналітичні пристрої:

- Енергодисперсійний аналізатор рентгенівских спектрів INCA 450 (Oxford). Кількісне визначення елементів у пробі від бору до урану з- чутливістю до 0,1%

- Детектор пружно відбитих електронів HKL Channel 5 (Oxford) для отримання дифракційної картини з області більшої 100 нм при визначенні міжплощинних віддалей та дослідженні пружно-деформованого стану гратки нанокристалів.

Вакуумна система: повністю автоматизована з автоматичним керуванням клапаном колони

Форвакуумний насос: Попередній безмасляний насос з продуктивністю 10 м3/ч для ультрачистого вакууму без забруднень.

Турбомолекулярний насос: 250 л/с.

Іонно-гетерний насос: для підтримки високого вакууму у області LaB6-катоду

Прилад використовується для роботи як при високому, так і при низькому вакуумі до 275 Па.

Вимоги до підготовки зразків

При завантаженні у камеру одночасно кількох проб, необхідно відбирати зразки однакової висоти. При виконанні кількісного рентгеноспектрального аналізу шорсткість поверхні не повинна перевищувати 1 мкм (шліф металографічної якості без додаткового травлення поверхні). Для дослідження пружно-деформованого стану гратки масивних монокристалів та нанокристалів у твердотільній матриці поверхня зразка полірується, поверхневий порушений шар знімається хімічним способом, електрополіровкою чи іонним травленням.

На головну

Інформація про заходи ІНМ, що заплановані на 2017 рік
ВАЛЕНТИН НИКОЛАЕВИЧ БАКУЛЬ – ТВОРЕЦ И СОЗИДАТЕЛЬ


Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України Україна, 04074, Київ, вул.Автозаводська, 2;
Тел.: (+38 044) 468-86-40 Факс: 468-86-25 www.ism.kiev.ua Е-mail: alcon@ism.kiev.ua